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학술저널
저자정보
(충북대학교)
저널정보
한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제5권 제3호
발행연도
수록면
27 - 33 (7page)
DOI
10.5757/vacmac.5.3.27

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초록· 키워드

오제분광분석법은 반도체와 금속재료 물집에서 강력한 표면분석기술로 크게 기여하였다. 최근의 오제장비는 공간분해능 및 에너지 분해능에 있어서도 괄목할 만큼 향상되었다. 현재 SAM은 약 50만 배의 안정된 이미지 확대가 가능하며, 약 8㎚의 공간분해능으로 원소의 본뜨기상을 얻을 수 있으므로 나노소자 및 나노물질 분석에 매우 용이하게 사용되고 있다. 최근 전개효과를 이용한 전자원 (FE-emitter)과 에너지분석기에 multichannel detector를 결합시켜 S/N비를 저하시키지 않고도 분석 속도를 크게 증가시킴으로써, 전자빔에 의하여 유발되는 시료손장을 최소화하며, 공간분해능을 향상시키고 있다. 또한 입사전자의 에너지를 수백 eV로 내려 표면 최외각층만을 관찰할 수 있도록 하여, 세라믹이나, 반도체등에 사용하는 부도체 시료에서도 사용할 수 있도록 개발되고 있다. 한편 공간 분해능을 더욱 개선하고, 안정된 영상을 짧은 시간에 얻을 수 있으며, 낮은 에너지의 Ar 이온빔 스퍼터링으로 원자층 깊이분해능으로 식각하는 오제전자 분광기를 개발함으로써, 나노선, 나노콘과 다양한 나노구조체에서 의미 있는 화학적 특성을 밝히는데 기여 할 것으로 기대한다.
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목차

  1. 1. 서론
  2. 2. 오제전자란?
  3. 3. AES기기의 원리 및 구조
  4. 4. 응용
  5. 5. Scanning Auger Microscopy (SAM)
  6. 6. 요약
  7. References

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