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박유진 (한국화학연구원) 이중헌 (한국화학연구원) 문유경 (한국화학연구원) 서영범 (한국화학연구원) 김윤호 (한국화학연구원) 원종찬 (한국화학연구원) 김진수 (한국화학연구원)
저널정보
한국고분자학회 폴리머 폴리머 제43권 제2호
발행연도
2019.3
수록면
268 - 273 (6page)
DOI
10.7317/pk.2019.43.2.268

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BTDA 산이무수물과 BBPA 디아민을 사용하여 새로운 감광성 폴리아믹산 에스테르인 PSPAE(BTDA-BBPAHEMA)를 합성하였다. PSPAE(BTDA-BBPA-HEMA)를 NMP에 녹인 후 TEGDA(가교제), Irgacure 819(광개시제)를 첨가하여 네가티브 감광성 PSPAE 조성물을 제조하였다. PSPAE 조성물을 스핀코팅하여 제조한 PSPAE-F1 필름을 350 ℃에서 이미드화하여 폴리이미드 필름(PI-F1)을 얻었다. PSPAE-F1과 PI-F1 필름의 TGA 곡선을 기록하고 열적 거동을 조사하였다. PSPAE 필름을 광패터닝 후 이미드화를 실시하여 20-100 μm의 해상도와 20 μm 두께를 갖는 패터닝된 PI 필름을 제조하였다. 또한 이미드화 후 막두께 감소율은 약 25%로 측정되었으며 이는 기존 PSPAE(PMDA-ODA-HEMA) 제품의 막두께 감소율(40-50%)과 비교하여 현저히 향상되었다.

목차

초록
Abstract
서론
실험
결과 및 토론
결론
참고문헌

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