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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.6
- 수록면
- 604 - 609 (6page)
이용수
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본 논문에서는 열경화성 폴리이미드를 정전용량형 습도센서의 감습재료로 사용하여 공정이 간단한 IDT(Interdigitated) 전극을 갖는 정전용량형 습도센서를 제작하고 특성을 측정 및 분석하였다. 먼저 일정한 용량값을 얻기 위하여 용량형 센서의 전극 수, 전극의 두께와 간격 및 폴리이미드 감습막의 두께 등을 최적화하여 마스크 설계 및 제작을 했으며, 실리콘 기판 상에 반도체 공정 장비를 이용하여 정전용량형 습도센서를 제작하였다. 제작된 센서의 면적은 1.56☓1.66㎟이며, 전극의 넓이와 전극간 폭은 동일하게 각각 3㎛, 센서의 감도를 위해 전극 수를 166개, 전극의 길이는 1.294㎜로 제작하였다. 그런 다음 센서 특성을 측정하기 위해 PCB상에 패키징 하였다. 25℃ 챔버 환경에 센서를 삽입하고 LCR Meter에 연결하여 1V, 20kHz를 인가한 상태에서 20%RH에서 90%RH까지 습도변화에 대한 용량값 변화를 측정하였다. 제작된 정전용량형 습도센서의 측정 결과 감도는 26fF/%RH, 선형 특성 <± 2%RH 그리고 히스테리시스는 < ± 2.5%RH를 얻을 수 있었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
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Cheng-Long Zhao, Ming Qin, Qing-An Huang, “A Fully Packaged CMOS Interdigital Capacitive Humidity Sensor With Polysilicon Heaters,” IEEE Sensors Journal., vol. 11, no. 11, pp. 2986-2992, 2011. DOI : https://doi.org/10.1109/JSEN.2011.2154325
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Z. M. Rittersma, “Recent achievements in miniaturised humidity sensors-a review of transduction techniques,” Sens. Actuator A-Phys, vol. 96, no. 2, pp. 196-210, 2002. DOI : https://doi.org/10.1016/S0924-4247(01)00788-9
Cheng-Long Zhao, Ming Qin, Qing-An Huang, “A Fully Packaged CMOS Interdigital Capacitive Humidity Sensor With Polysilicon Heaters,” IEEE Sensors Journal., vol. 11, no. 11, pp. 2986-2992, 2011. DOI : https://doi.org/10.1109/JSEN.2011.2154325
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