Electrical Properties Measurements of Thin Films using Electrical Impedance Tomography

Dongil Lee; Daegun You; Dongwoo Lee

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Dongil Lee (Sungkyunkwan University) Daegun You (Sungkyunkwan University) Dongwoo Lee (Sungkyunkwan University)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2019년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2019.2

수록면: 86 - 86 (1page)

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#Combinatorial thin film libraries #Electric Impedance Tomography #Electrical resistance mapping #Microstructures #Damages

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