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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제23권 제6호
발행연도
2013.1
수록면
291 - 295 (5page)

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산화 및 수소 분위기 열처리를 통한 화학적 표면 개질로 나노다이아몬드 seed 입자의 응집성 완화 및 초미세나노결정질 다이아몬드 (UNCD) 박막 증착을 위한 핵형성 밀도 향상을 확보하였다. 열처리에 의해 나노다이아몬드 seed 입자표면 작용기가 개질되었고, 제타 전위도 증가하였다. 또한, 응집체 평균 크기가 약 2 μm에서 ~55 nm로 크게 감소하였다. 600oC, 수소 열처리된 seed 입자로 seeding 한 Si 기판으로부터 열처리하지 않은 seed 입자에 비해 현저하게 향상된~2.7 × 1011cm−2의 매우 높은 핵형성 밀도를 확보하였다.
#Nanocrystalline diamond seeds #Aggregation #Heat treatment #Surface chemical modification #Nucleation density

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