Study of Homogeneous Alignment LCD Device Using Ion-Beam Irradiation method on SiOF Substrates

조명현; 김원배; 이호영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 조명현 김원배 이호영

저널정보: 한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제17권 제2호

발행연도: 2015.1

수록면: 335 - 340 (6page)

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Nematic liquid crystal (NLC) alignment effects on SiOF layers via ion-beam(IB) irradiation for four types of incident energy were successfully studied. The effect of fluorine addition on silicon oxide film properties as a function of SiOF₄/O₂gas flow ration was investigated. The SiOF thin film exhibits good chemical and the thermal stability of the SiOF thin film were sustained as function of the NLC alignment until 200℃. Also, the response-time characteristics of aligned LCD based on SiOF film were studied.

#Liquid Crystal #액정) #Ion-beam Irradiation #이온빔 조사) #SiOFx Substrates #기판) #Liquid Crystal Alignment #액정배향) #Homogeneous Alignment #수평배향)

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B. Park / 1990 / / J. Appl. Phys 86 : 1854 ~

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