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저자정보
저널정보
한국산업경영시스템학회 산업경영시스템학회지 산업경영시스템학회지 제33권 제3호
발행연도
2010.1
수록면
184 - 191 (8page)

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In the environment of 450mm wafers production known as the next-generation semiconductor production process, one of the most significant features is the full automation over the whole manufacturing processes involved. The full automation system for 450mm wafer production will minimize the human workers' involvement in the manufacturing process as much as possible. In addition, since the importance of an individual wafer processing increases noticeably, it is necessary to develop more robust scheduling systems in the whole manufacturing process than so ever. The scheduling systems for the next-generation semiconductor production processes also should be capable of monitoring individual wafers and collecting useful data on them in real time. Based on the information gathered from these processes, the system should finally have a real-time scheduling functions controlling whole the semiconductor manufacturing processes. In this study, preliminary investigations on the requirements and needed functions for constructing the real time scheduling system and transforming manufacturing environments for 300mm wafers to those of 400mm are conducted and through which the next generation semiconductor processes for efficient scheduling in a clustered production system architecture of the scheduler is proposed. Our scheduling architecture is composed of the modules for real-time scheduling, the clustered production type supporting, the optimal scheduling and so on. The specifications of modules to define the major required functions, capabilities, and the relationship between them are presented.
#Semiconductor #450mm Wafer Production #Real-time Scheduling #Manufacturing Execution System

목차

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참고문헌 (9)

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Hwan-yong Lee / 2006 / with Reentrant Wafer Flows / IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing 19 (2) : 226 ~ 240 google schola Ja-Hee Kim / 2003 / Scheduling Analysis of Time-constrained Dual-armed Cluster Tools / IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing 16 (3) : 521 ~ 534 google schola Ja-Hee Kim / 2008 / Extended Petri Net / IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing 5 (3) : 490 ~ 503 google schola Myoungsoo Ham / 2009 / Integer Programming-based Real-time Schedule in Semiconductor Manufacturing / The 2009 Winter Simulation Conference : 1657 ~ 1666 google schola Naiqi Wu / 2007 / Real-time Deadlock-free Scheduling for Semiconductor Track Systems Based on Colored Timed Petri nets / OR Spectrum 29 : 421 ~ 443 google schola

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