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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제13권 제3호
발행연도
2004.1
수록면
230 - 235 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

마이크로 적층형 압전밸브의 제작과 그 특성
정귀상 ,  김재민 ,  조상복 대한전자공학회 학술대회 2005.11 학술대회자료

2004

적층형 압전밸브의 설계, 제작 및 특성
정귀상 ,  윤석진 ,  정순종 외 2명 센서학회지 2004.01 학술저널

초록· 키워드

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This paper describes the design, fabrication and characteristics of a piezoelectric valve using MCA(Multilayer ceramicactuator). The MCA valve, which has the buckling effect, consists of three separate structures; MCA, a valve actuatordie and an a seat die. The design of the actuator die was done by FEM modeling and displacement measurement,respectively. The valve seat die with 6 trenches was made, and the actuator die, which is driven to MCA under optimizedconditions, was also fabricated. After Si-wafer direct bonding between the seat die and the actuator die, MCA was alsoanodic bonded to the seat/actuator die structure. PDMS sealing pad was fabricated to minimize a leak-rate. It was alsobonded to seat die and SUS package. The MCA valve shows a flow rate of 9.13 sccm at a supplied voltage of 100 Vwith a 50% duty cycle, maximum non-linearity was 2.24% FS and leak rate was 3.03 10-8 pa m3/cm2. Therefore, thefabricated MCA valve is suitable for a variety of flow control equipment, a medical bio-system, automobile and airtransportation industry.
#piezoelectric #valve #MCA #seat die #actuator die

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D. L. Polla / 2001. / BioMEMS application in medicine : 13 ~ 15 google schola E. Thielicke / 2000. / Microactuators and their technologies 10 : 431 ~ 455 google schola G. Caliano, / 1995. / A piezoelectric bimorph static pressure sensor 46 : 176 ~ 178 google schola I. Chakraborty, / 2000. / MEMS micro-valve for space applications 83 : 188 ~ 192 google schola L. Lo, / 2001. / A silicon mass flow control micro-system 2 : 363 ~ 369 google schola

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