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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제16권 제3호
발행연도
2007.1
수록면
229 - 233 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

ITO thin films on CR39 substrate for transparent OTFT
권성열 대한전기학회 학술대회 논문집 2008.10 학술대회자료

2007

Fabrication and characteristics of ITO thin films on CR39 substrate for transparent OTFT
권성열 센서학회지 2007.01 학술저널

초록· 키워드

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The indium tin oxide (ITO) films were deposited on CR39 substrate using DC magnetron sputtering. The ITO thin films deposited at room temperature because CR39 substrate its glass-transition temperature is 130 oC. The ITO thin films used bottom and top electrode and for organic thin film transparent transistors (OTFTs). The ITO thin film electrodes electrical properties and optical transparency properties in the visible wavelength range (300 – 800 nm) strongly dependent on volume of oxygen percent. For the optimum resistivity and transparency of the ITO thin film electrode achieved with a 75 W plasma power, 10 % volume of oxygen and a 27 nm/min deposition rate. Above 85 % transparency in the visible wavelength range (300 – 800 nm) measured without post annealing process and a low resistivity value 9.83×10−4 Ωcm was measured thickness of 300 nm. All fabrication process of ITO thin films did not exceed 80 oC.
#Indium Tin Oxide #ITO) #thin films #DC magnetron sputtering #OTFTs

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/ / Variations in microstructureand composition of indium tin oxide-films with thedeposition technique : 6495 ~ 6500 google schola / 1997 / A study onmaterial properties and fabrication of ITO thin filmsby unbalanced-magnet structure in magnetron sput-tering 10 (7) : 70 ~ 705 google schola / 1998 / Electro-optical prop-erties of organic thin film EL device using PV 7 (2) : 97 ~ 102 google schola / 1998 / Preparation and characterization of trans-parent conductive ITO films by MOD process 35 (4) : 385 ~ 391 google schola / 1999 / Comparison of organic EL character-istics of low mas dye and polymer material withthe same chromophore 8 (2) : 177 ~ 181 google schola

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