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This study examined the dependency of crystalline orientation and electric properties of sol-gel PZT film on hydrolysis, a PbTiO3 seed layer and a concentration of sol-gel solution. The PZT thin films were prepared by using 2-Methoxyethanol- based sol-gel method and spin-coating on Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The 1-μm-thick PZT films were coated and then fired in a furnace by direct insert method. The highly (111) oriented PZT film of pure perovskite structure could be obtained. We could control the degree of orientation by various parameters such as hydrolysis, a PbTiO3 seed layer and a concentration of sol-gel solution. The highest measured remanent polarization, dielectric constant and piezoelectric coefficient are 24.16 μC/cm2, 2808, and 159 pC/N, respectively.
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B. Morten / 1992 / Resonant pressure sensor based on piezo-electric properties / Sensor and Actuators A 31 : 153 ~ 158
G. A. Smolenskii / 1999 / Dielectric polarization of a number of complex compounds / Soviet Phys. Solid state 1 (10) : 1429 ~ 1437
G. Wen / 2003 / Preparation of(100)-and(111)-Textured Pb(Zr,Ti)O3piezoelectric films and direct measurement of their piezoelectric constants / Jpn. J. Appl. Phys 42 : 1459 ~
H.-C. Lee / 2001 / Preparation and chracterization of Pb(Zr,Ti)O3 films deposited on Pt/RuO2hybrid electrode for ferroelectric randon access memory devices / Jpn. J. Appl. P
J. Zeng / 1999 / Influence of lead titanate seed layer on orientation behaviour and ferroelectric characteristics of sol-gel detrived PZT thin films / J. Phys.: Condens. Mat
G. A. Smolenskii / 1999 / Dielectric polarization of a number of complex compounds / Soviet Phys. Solid state 1 (10) : 1429 ~ 1437
G. Wen / 2003 / Preparation of(100)-and(111)-Textured Pb(Zr,Ti)O3piezoelectric films and direct measurement of their piezoelectric constants / Jpn. J. Appl. Phys 42 : 1459 ~
H.-C. Lee / 2001 / Preparation and chracterization of Pb(Zr,Ti)O3 films deposited on Pt/RuO2hybrid electrode for ferroelectric randon access memory devices / Jpn. J. Appl. P
J. Zeng / 1999 / Influence of lead titanate seed layer on orientation behaviour and ferroelectric characteristics of sol-gel detrived PZT thin films / J. Phys.: Condens. Mat
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