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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제27권 제2호
발행연도
2018.1
수록면
99 - 104 (6page)

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A micro electromagnetic actuator with high vibration efficiency is proposed for use in an implantable hearing device. The actuator, which can be implanted in the middle ear, consists of membranes based on the stainless steel 304 (SUS-304), and other components. In conventional actuators, in which a thick membrane and a silicone elastomer are used, the size reduction was difficult. In order to min- iaturize the size of the actuator, it is necessary to reduce the size of the actuation potion that generates the driving force, resulting inreduction of the electromagnetic force. In this paper, the electromagnetic actuator is further miniaturized by the metal membrane andthe vibration amplitude is also optimized. The actuator designed according to the simulation results was fabricated by using micro-elec-tro-mechanical systems (MEMS) technology. In particular, a 20 µm thick metal membrane was fabricated using the erosion process, which reduced the length of the actuator by more than 400 µm. In the experiments, the vibration displacement characteristics of the opti- mized actuator were above 400 nm within the range of 0.1 to 1 kHz when a current of 1 mArms was applied to the coil.

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참고문헌 (12)

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