SF6분자가스의 압력 의존도

전병훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 전병훈

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제9호

발행연도: 2007.1

수록면: 816 - 820 (5page)

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We measured the electron drift velocity, W, in 0.5 % SF6-Ar mixture over the E/N range from 30 Td to 300 Td and gas pressure range from 0.1 to 0.5 Torr by the double shutter drift tube with a variable drift distance, and calculated over the same E/N and gas pressure range by using the two-term approximation of the Boltzmann equation. The measured and calculated values at different gas pressure at each E/N was appreciable dependence in the results on the gas pressure.

#SF6 molecular gas #2-term approximation of Boltzmann equation analysis #Electron drift velocity #The dependence of the gas pressure #Electron collision cross sction

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B. H. Jeon / 1998 / Measurement of drift velocity and longitudinal diffusion coefficient of electron in pure oxygen and in oxygen-argon mixtures / J. Phys. D 31 : 2145 ~

B. H. Jeon / 2003 / Determination of electron collision cross-sections for the oxygen molecule by using an electron swarm study / JKPS 43 (4) : 513 ~

Byung-Hoon Jeon / 2006 / Determination of Electron Collision Cross-Sections for the C3F8 Molecule by Using an Electron Swarm Study / Journal of the Korean Physical Society 49

H. Itoh / 1988 / Electron swarm development in SF6 : I. Boltzmann equation analysis / J. Phys. D 21 : 922 ~

Y. Nakamura / 1988 / Electron transport parameters in argon and its momentum transfer cross section / J. Phys. D 21 : 718 ~

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