비정질 GeSe 박막으로의 은-광도핑에 대한 기판의존성

여종빈; 윤상돈; 이현용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 여종빈 윤상돈 이현용

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제10호

발행연도: 2007.1

수록면: 852 - 858 (7page)

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The dependence of substrate on the Ag photodoping phenomenon into amorphous (a-) GeSe thin film has been investigated using holographic method. A 442 nm HeCd laser was utilized as a light source for the holographic exposure and a 632.8 nm HeNe laser to measure the variation of diffraction efficiency () in real time. The films (Ag and a-GeSe) were thermally deposited on the substrates, i.e. p-type Si(100), n-type Si(100) and slide glass. The sample structures prepared were two types: type I (Ag/a-SeGe/substrate) and type II (a-SeGe/Ag/substrate). The kinetics comprised to be three steps in which initially increases, is saturated to be maximized (), and then decreases relatively gradually. For the same substrate, the values of the type II were higher than those of type I. In addition, the type II exhibited the highest for p-type Si substrate, while that in type I was observed for n-type Si substrate. These tendency is explained by the diffusion of minority carrier in the films and the change of magnitude and direction in internal fields generated at the film interfaces. Atomic-force-microscope (AFM) was used to observe relief-type grating patterns.

#Holographic method #Ag photodoping #Amorphous GeSe #Substrate dependence

참고문헌 (14)

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D. Goldschmidt / 1976 / The kinetcs of photodissolution of Ag in amorphous As2S3 films / J. Non-Crys. Solids 22 : 229 ~

E. Yablonovitch / 1994 / Photonic crystals / Journal of Modern Optics 41 (2) : 173 ~

H.-Y. Lee / 1998 / Photoinduced transformations in amorphous Se75Ge25 thin film by XeCl excimer-laser exposure / J. Appl. Phys. 83 (10) : 5381 ~

H.-Y. Lee / 2001 / On Ag-doping in amorphous Sb2S3 thin film by HeNe and HeCd laser exposures and its optical characteristics / J. Non-Crys. Solids 279 : 209 ~

H.-Y. Lee / 2002 / Wet-etching selectivity of Ag-photodoped AsGeSeS thin films and the fabrication of a planar corrugated one-dimensional photonic crystal by a holographic me

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