차량 내 탑승자 상태 인식용 적외선 센서의 제조 및 특성

이성현; 남태운

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이성현 남태운

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제3호

발행연도: 2009.1

수록면: 222 - 229 (8page)

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A noble infrared sensor was studied for passenger conditional detection in vehicle. This research relates to uncooled infrared sensors for detecting the presence, type and temperature of occupants in vehicle. It sense that the occupants purpose to control the smart airbag for safety in the case of adult or child and to control the automatic air conditioning for convenience. This paper described the design and the fabrication of microbolometers which were composed of 2 by 8 elements using the surface micromachining technology. The characteristics of the array were investigated in the spectral region of 8～12 ㎛. The fabricated detectors exhibited the thermal mass of 7.05x10-9 J/K, the thermal conductance of 1.03x10-6 W/K, the thermal time constant of 6.8 ms, the responsivity of 2.96x10⁴ V/W and the detectivity of 1.01x109 ㎝㎐1/2/W, at the chopper frequency of 10 Hz and the bias current of 4.4 ㎂. We could successfully detect the human body condition in the divided zone. As a results, we concluded that microbolometer optimized in this research could be useful for the application of passenger conditional detection in vehicle.

#Passenger conditional detection #Vehicle #Micromachining #Microbolometer #Array

참고문헌 (10)

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/ / CRC Handbook

B. E. Cole / 1998 / Monolithic two-dimensional arrays of micromachined microstructures for infrared applications / Proceedings of the IEEE 86 : 1679 ~

H. K. Lee / 1999 / A high fill-factor infrared bolometer using micromachined multilevel electrothermal structures / IEEE Trans. Electron Devices 46 : 1489 ~

L. Vlacic / 2001 / Intelligent vehicle technologies, SAE international, ch. 5

M. Liger / 2004 / Uncooled all-parylene bolometer / IEEE MEMS, International Conference : 593 ~

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