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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 109 - 113 (5page)
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Diethyl zinc (DEZ)를 전구체로 사용하여 유기금속 화학기상증착법 (metal-organics chemical vapor deposition, MOCVD)으로 ZnO 박막을 Si 기판 위에 합성하였다. 본 연구에서는 O2/DEZ 혼합비가 박막의 성장 속도, 표면 형상 및 결정성, 전기적 특성에 미치는 영향을 SEM, XRD, Hall 측정 등을 이용하여 조사하였으며, 산소량을 조절하는 방법과 DEZ 공급량을 조절하는 2가지 방법으로 O2/DEZ 혼합비를 조절하였다. 증착 반응이 일어나는 동안의 표면 반사도 변화를 레이저-포토미터를 사용해 in- situ로 측정하였다. O2/DEZ 혼합비가 증가함에 따라 박막의 성장 속도와 XRD I(002)/I(101) 회절강도비는 감소하였으며, 결정구조는 기둥 형태에서 사면체 및 판상 구조로 변화하였다. 모든 조건에서 증착된 ZnO 박막은 (002)면 우선 성장하였고, 박막의 전기적 특성은 캐리어 이동도에 의해 좌우되었다.
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