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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제2호
발행연도
2013.1
수록면
114 - 118 (5page)

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본 연구에서는 두께와 직경비에 따른 결합진동 모드 AE 센서용 압전소자의 가장 우수한 변위 및 압전 특성 조건을 찾고자 공진 및 반공진 주파수, 변위, 전기기계결합계수, 체적을 비교 하였다. 압전소자의 물성은 PZT4의 값을 적용하였으며 유한요소 해석 프로그램인 ATILA로 시뮬레이션하여 최적의 비율을 찾은 후 압전소자를 제작하여 그 특성을 비교한 결과, 결합진동 모드를 갖는 압전소자의 변위와 keff 값은 직경과 두께의 비 (φ/T)에 따라 변화하며, 두께 3.45 mm이고, φ/T= 1.0일 때 keff와 변위 두 가지 값이 가장 우수하게 나타났으며, 이때, 압전소자의 공진 주파수, 반공진 주파수, 변위 그리고 전기기계결합계수는 각각 406 kHz, 533 kHz, 6.11 × 10-8 (m), 0.685으로 나타났다.

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