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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제8호
발행연도
2012.1
수록면
616 - 619 (4page)

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에피택셜 성장한 산화물의 이종 접합 구조는 강유전성, 자성, 초전도 및 다강성과 같은 흥미로운 특성을 나타낸다. 산화물 계면에서의 미세 특성은 이종 접합 구조에서 전기적인 수송 특성에 큰 영향을 미칠 수 있다. 최근에 Ohtomo와 Hwang 그룹에서 TiO2-terminated SrTiO3 기판에 매우 얇은 두께로 LaAlO3가 증착 되었을 때, 두 물질 모두 부도체임에도 불구하고 계면에서 높은 전기 전도도와 전자 이동도가 발생하는 현상을 발견했다. 이러한 산화물 계면에서 전자는 4.2 K에서 최대 104 cm2V-1s-1의 높은 이동도를 가진다. 이 연구에서는 전류-전압 특성 분석을 이용하여 TiO2-terminated SrTiO3 기판에 증착되는 LaAlO3 박막 두께에 따른 전기전도도 의존성을 관찰하였다. 그 결과 LaAlO3층이 3 unit cells까지는 계면에서 부도체적인 성질을 유지하였다. 반면에 LaAlO3층이 4 unit cells 이상의 두께부터는 도체적인 성질의 계면을 얻을 수 있었다.
#LaAlO3 #SrTiO3 #Heterostructure #2DEG #Critical thickness

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참고문헌 (9)

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A. Ohtomo / 2004 / / Nature 427 : 423 ~ google schola G. Koster / 1998 / / Appl. Phys. Lett. 73 : 2920 ~ google schola G. Rijnders / 2005 / / Nature 433 : 369 ~ google schola H. Iwai / 2009 / / Microelectron. Eng 86 : 1520 ~ google schola H. Takagi / 2010 / / Science 327 : 601 ~ google schola

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