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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 125 - 128 (4page)
이용수
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본 연구에서는 고성능 고감도의 pH 센서를 제작하기 위해 High-k 물질을 감지막으로 갖는 EIS 소자를 제작하였다. 각각의 High-k 감지막을 갖는 EIS 소자의 감지특성은 기존의 SiO2 (O)와 SiO2/Si3N4 (ON) 감지막과 비교되었다. 실험결과, High-k 물질을 감지막으로 갖는 EIS 소자에서 감지감도와 안정성 모두 우수했다. 특히, high-k 물질 중 OH 감지막에서 높은 감지 감도를 보였고 OA 감지막에서 화학용액에 대해 가장 우수한 안정성을 보이는 것으로 평가되었다. 결론적으로, 각 high-k 물질의 특성을 고려하여 바이오센서에 적용하였을 때, 우수한 바이오 분자의 감지 감도뿐만 아니라 높은 신뢰성을 가지는 센서소자의 제작이 가능할 것으로 기대된다.
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