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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제12호
발행연도
2012.1
수록면
974 - 978 (5page)

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본 연구에서는 Cu가 코팅된 나노 SnO2:Cu 센서를 기반으로 한 CH4, CH3CH2CH3 gas의 감응 특성에 대대 연구하였다. 나노 SnO2 분말은 SnCl2․2H2O, hydrazine, NaOH를 혼합하여 제조하였고, 열처리를 통해 나노 SnO2 분말을 얻었다. XRD 결과, SnO2의 (110), (101), (211)면의 주피크가 일치하여 나타났다. Cu를 8 wt% 첨가한 나노 SnO2:Cu의 경우 입자 크기는 약 50 nm로 나타났다. SEM 결과, SnO2 입자들은 많은 기공을 포함하고 있었다. 나노 SnO2:Cu 가스센의 감도는 공기중에서의 저항과 가스를 흘려준 후 저항의 비로 나타내었고, CH4 gas and CH3CH2CH3 gas 5 ppm에 대한 감응 특성을 실온에서 측정하였다. CH4 gas and CH3CH2CH3 gas 두 가스 모두에서 Cu가 코팅된 나노 SnO2:Cu의 경우 감도가 향상되었다. 나노 SnO2:Cu 가스센서의 CH4 gas and CH3CH2CH3 gas에 대한 반응 시간은 약 18∼20초, 회복시간은 약 13∼15초로 나타났다.

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