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자료유형
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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제15권 제6호
발행연도
2014.1
수록면
344 - 347 (4page)

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This study was carried out on DLC thin film deposition technology used in infrared optical system production asa method of reducing the shape changes of the molding core and the consequent loss of life. Experiments on thedeposition on silicon wafer and tungsten carbide used as a substrate for molding core were conducted at eachprocessing condition using a filtered arc system, and it was found that the surface and mechanical properties were ofthe greatest quality when the substrate bias voltage of -150 V was used. In addition, it was confirmed that the PV andRa characteristics were improved by the deposition of the DLC thin film.
#DLC #Thin film #Tungsten carbide #Optical lens

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