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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 227 - 231 (5page)
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전기탈이온은 전기장하에서 고순수를 생산하는 전기투석 및 이온교환의 하이브리드 분리 공정이다. 본 연구는 전기탈이온시스템 응용을 위한 홀 패턴된 금속전극의 제작을 연구하였다. 본 연구의 결과인 주기적 배열을 갖는 홀 패턴은 자가정렬된 나노구체를 렌즈마스크 패턴으로 사용하고 콜리메이트된 레이져 빔을 광원으로 사용한 나노구체 리소그라피 공정을 이용하여 제작되었다. 홀 패턴된 금속전극은 전자주사현미경(SEM)을 이용하여 관찰하였다. 본 연구진은 주기적 홀 패턴을 갖는 금속 전극은 전기탈이온 시스템의 금속 매트 전극에 유용하게 응용될 것이라 판단한다.
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