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최근 나노 영역에서의 구조분석과 조성분석의 중요성이 증대되고 있으나, 기존의 분석장비들은 한계에 부딪히고 있다. 최근개발된 APT는 nm 이하의 공간분해능과 수십 ppm수준의 detection limit으로 원소의 3차원분포와 조성정보를 제공해 주는 분석장비로서, 이러한 기존 분석의 한계를 극복할 수 있는 새로운분석장비이다. 그러나 국내에는 아직 잘 알려지지 않아 활용이미비한 실정이다. 따라서, 본 논문에서는 APT에 대한 이해를 돕기 위해 APT분석의 원리와 시편준비에 대해 소개하였다.
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참고문헌 (29)
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Blavette D / 1993 / The tomographic atom probe: A quantitative three-dimensional nanoanalytical instrument on an atomic scale / Rev Sci Instrum 64 : 2911 ~ 2919
Bunton JH / 2007 / Advances in pulsed-laser atom probe: instrument and specimen design for optimum performance / Microsc Microanal 13 : 418 ~ 427
Cerezo A / 1988 / Application of a position-sensitive detector to atom probe microanalysis / Rev Sci Instrum 59 : 862 ~ 866
Cerezo A / 1998 / Performance of an energy-compensated three-dimensional atom probe / Rev Sci Instrum 69 : 49 ~ 58
Colijn HO / 2004 / Site-Specific FIB preparation of atom probe samples / Microsc Microanal 10 : 1150 ~ 1151
Bunton JH / 2007 / Advances in pulsed-laser atom probe: instrument and specimen design for optimum performance / Microsc Microanal 13 : 418 ~ 427
Cerezo A / 1988 / Application of a position-sensitive detector to atom probe microanalysis / Rev Sci Instrum 59 : 862 ~ 866
Cerezo A / 1998 / Performance of an energy-compensated three-dimensional atom probe / Rev Sci Instrum 69 : 49 ~ 58
Colijn HO / 2004 / Site-Specific FIB preparation of atom probe samples / Microsc Microanal 10 : 1150 ~ 1151
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