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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제2호
발행연도
1996.6
수록면
147 - 155 (9page)

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확산방지막 M으로 Ti, Cu, Zr, Al을 사용한 TiO₂/M/Ag/M/TiO₂ 박막의 광학적 성질은 확산방지막 금속에 따라 변하였으며, Ti을 확산방지막으로 사용한 다층 박막에서 투명 열절연 박막으로서 최적의 광학적 성질을 얻을 수 있었다. 각기 18 ㎚ 두께의 TiO₂와 Ag 박막 및 4 ㎚ 두께의 Ti을 스퍼터 증착하여 제조한 TiO₂/Ti/Ag/Ti/TiO₂ 박막은 가시광선 영역에서 최대투과도 89%, 3000 ㎚ 파장 영역에서 97% 정도의 적외선 차단 특성을 나타내었으며, 240 시간의 내광성 시험후에도 광학적 성질이 열화되지 않았다. Cu, Zr 및 Al을 확산방지막으로 사용한 다층 박막에서 내광성 시험에 의한 광학적 성질의 열화 정도는 확산방지막으로 Cu, Zr, Al을 사용한 시편의 순서로 증가하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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