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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제1호
발행연도
1997.2
수록면
69 - 76 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

1997

(Bi, Sb)₂ (Te, Se)₃계 박막의 열전 특성 및 온도 센서로의 응용
한승욱 ,  김일호 ,  이동희 Applied Science and Convergence Technology 1997.02 학술저널

1996

Bi-Sb-Te-Se계 열전박막 온도센서의 응답특성
한승욱 ,  김일호 ,  이동희 한국재료학회 학술발표대회 1996.01 학술대회자료

1995

$(Bi,Sb)_{2}(Te,Se)_{3}$계 박막 온도 센서의 특성에 대한 두께 및 어닐링 효과
한승욱 ,  이동희 ,  김일호 한국재료학회 학술발표대회 1995.01 학술대회자료

초록· 키워드

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순간 증착법으로 Bi_(0.5)Sb_(1.5)Te₃ (p형)와 Bi₂Te₂.₄Se_(0.6) (n형) 박막을 제조하여 두께와 어닐링 조건에 따른 Seebeck 계수, 전기전도도, carrier 농도 및 이동도, 열전도도, 성능지수의 변화 등 열-전기적 특성을 조사하였다. 473K 에서, 1시간 진공 열처리한 결과 p형과 n형의 성능지수는 각각 1.3×10^(-3) K^(-1) 및 0.3×10^(-2) K^(-1)으로 향상되었으며 두께에 크게 의존하지 않았다. 이런 성질을 갖는 열전 박막을 소자화한 박막 온도 센서를 유리와 Teflon 기판 위에 제조하였으며, 이들의 온도 변화에 대한 열기전력, 민감도 및 시간 상수 등 센서 특성을 측정하였다. p및 n형의 leg 폭 1 ㎜×길이 16 ㎜인 박막 온도 센서의 경우, Teflon 기판일 때 좋은 성능을 나타내었으며, 민감도는 2.91 V/W, 시간 상수는 28.2초이었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

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