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이용수
요약
Abstract
1. 서론
2. 진공계의 특성조사
3. 전자증배(Electron Multipactoring) 현상의 관찰 및 분석
4. 이온펌프의 운전이력
5. 진공누출 및 교체
6. 고장분석 및 가용도
7. 결론
참고문헌
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