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한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.2 No.2
발행연도
1998.10
수록면
85 - 91 (7page)

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The electrochromic behaviors of dc-magnetron sputtered tungsten oxide thin films were investigated during coloration and bleach cycles using in situ real-time spectroscopic ellipsometry. Effective medium approximation and least-squares regression analyses were employed to investigate the electrochromic process. The optical properties of the tungsten oxide film were analyzed using the oscillator model and the evolution of the parameters were shown. Based on the optical observation, we have characterized the kinetics of the process using a reaction-limited model. In these analyses, we found that two different reaction rates were associated with the process. We ascribe this behavior to the microstructure of thin films.

목차

Abstract

Ⅰ. Introduction

Ⅱ. Experimental

Ⅲ. Results and Discussion

Ⅳ. Conclusion

Acknowledgment

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