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한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.6 No.2
발행연도
2002.6
수록면
101 - 104 (4page)

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Er doped SiO_x films have been synthesized by ion beam assisted deposition (IBAD). The morphology and microstructure of films and their annealing behaviors have been examined by using scanning electron microscopy and x-ray diffraction. The composition and properties of films have been systematically investigated.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Experimental Details

3. Results and Discussion

4. Conclusions

Acknowledgements

References

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