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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제2호
발행연도
2001.7
수록면
207 - 212 (6page)

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본 연구에서는 솔젤법에 의해 최적의 유전특성을 갖는 TiO2 박막의 제작조건을 정한다. 이를 위해 최적의 조건으로 합성된 sol을 이용하여 박막을 제작한 후 박막의 유전율을 측정한다. 가수분해에 필요한 물의 양이 화학 양론적인 양보다 적은 경우에는 직쇄상 구조를 갖는 투명 sol이 생성되고 많은 경우에는 cluster상 입자를 갖는 현탁 sol이 생성된다. 또한 박막의 유전율은 120℃부근을 시작으로 지수함수적으로 증가하는 것을 알 수 있다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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