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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제2호
발행연도
1999.5
수록면
116 - 120 (5page)

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약 3.5 ㎛ 두께의 Fe-Ni계 합금 박막을 Al-killed 강 기판에 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착하여 박막의 기본적인 특성을 평가하였다. 제조된 박막은 {110}_(박막)//{111}_(기판) 관계를 지닌 파이버 집합조직을 형성하였으며, 상온에서 200℃까지 가열과 냉각을 5,000번 반복하는 열피로 실험후에도 박리현상이 관찰되지 않을 정도로 박막과 기판은 강한 결합력을 유지하고 있었다. 또한 Fe-Ni계 합금 박막의 증착으로 상온에서 200℃까지의 온도영역에서 일반 Al-killed강에 비해 현저한 열팽창 감소가 유도될 수 있음을 확인하였다. 이러한 결과는 박막공정을 이용하여 Al-killed 강에 비해 더 낮은 열팽창 계수를 지닌, shadow mask 재료로 응용될 수 있는 새로운 재료 시스템을 실현할 가능성을 제공한다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. Fe - Ni계 Invar 합금 박막의 잔류응력 고찰

3. 실험방법

4. 결과 및 고찰

5. 결론

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