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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제1호
발행연도
1992.2
수록면
206 - 211 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (10)

1996

산소분위기 열처리법에 의한 SIMOX SOI의 특성개선
배영호 ,  권영규 ,  홍재화 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.06 학술대회자료

1995

열처리 공정 개선에 의한 SIMOX SOI의 품질 향상 ( Improvement of SIMOX SOI Quality by Annealing Process Development )
배영호 ,  정욱진 ,  김광일 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.07 학술대회자료
열처리공정 개선에 의한 SIMOX SOI의 품질향상
배영호 ,  정욱진 ,  김광일 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1995.06 학술대회자료

1993

SIMOX SOI 제조시 산소이온 주입량의 감소가능성 ( The Possibility of Oxygen Dose Reduction in the SIMOX SOI Fabrication Process )
배영호 ,  이광철 ,  정욱진 외 4명 대한전자공학회 학술대회 1993.01 학술대회자료

1992

소량의 산소이온 주입으로 제조된 SIMOX SOI의 특성 ( The Characteristics of SIMOX SOI Formed by Lower Dose Oxygen Implantation )
배영호 ,  김광일 ,  정욱진 외 3명 전자공학회논문지-A 1992.06 학술저널
SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적 특성에 미치는 영향
배영호 ,  정욱진 ,  금광일 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 1992.02 학술저널
SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적특성에 미치는 영향
배영호 ,  정욱진 ,  김광일 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1992.02 학술대회자료

1991

임계치 이하의 산소이온이 주입된 SIMOX SOI 의 특성 ( The Characteristics of SIMOX SOI Formed by Subcritical Dose Oxygen Implantation )
배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1991.11 학술대회자료
열처리조건에 따른 SIMOX SOI의 특성 ( The Effects of Annealing Conditions on the Characteristics of SIMOX SOI )
배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 3명 전자공학회논문지-A 1991.08 학술저널

1990

열처리 온도에 따른 SIMOX SOI 의 전기적 특성
배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1990.11 학술대회자료

초록· 키워드

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2×10^(18)ions/㎠의 산소이온이 180keV로 주입된 실리콘웨어퍼를 1250℃에서 6시간 동안 질소분위기로 열처리하여 SIMOX SOI 구조를 제조하였다. 이온주업 후 열처리 과정에서 산소원자의 거동을 AES와 TEM으로 분석하였고, SRP법으로 시료의 전기적 특성을 조사였다. 그 결과 고온의 열처리 후에 SOI층 내에 산소석출물이 존재하고 있음을 관찰할 수 있었으며 이들은 SOI층의 전기적 특성에 심각한 영향을 미침을 알았다. 그리고 열처리과정에서 SOI층 내 산소농도의 감소는 이들 석출물의 성장소멸기구에 지배됨을 알았다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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