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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제4(1)호
발행연도
1999.11
수록면
432 - 437 (6page)

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1999

보급형 He - Ne 타원해석기의 제작과 TiO₂ 박막 유효밀도 변화의 in - situ 측정
김상준 ,  방현용 ,  김상열 Applied Science and Convergence Technology 1999.11 학술저널
보급형 He - Ne 타원해석기의 제작과 TiO₂ 박막 유효밀도 변화의 in situ 측정
김상준 ,  방현용 ,  김상열 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료

초록· 키워드

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실시간으로 변화하는 시료를 측정하고 분석할 수 있도록 비접촉식이며, 광학 방식인 단파장 in-situ 타원해석기를 제작하였다. He-Ne 레이저를 광원으로 사용하였고 회전검광자형 광량측정방식을 채택하였다. 기존의 진공챔버 등에 쉽게 장착할 수 있도록 동축 구조를 사용하였으므로 소형이며 단순한 설계가 가능하여졌다. 전자빔 증착 방법으로 성장시킨 조밀도가 82%인 이산화티타늄 박막의 분석에 이 타원해석기를 사용하여 수분 탈착에 따르는 이산화티타늄 박막의 유효밀도 변화를 박막의 온도 변화와 시간 변화에 따라 실시간, in situ 방식으로 관측하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. In - situ 타원해석기

3. TiO₂ 박막의 타원해석상수 측정 및 유효밀도 변화

4. 결론

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