Oxygen Plasma Characterization Analysis for Plasma Etch Process

Pa ,  k ,  Jin-Su 외 2명

동굴

2007 .01

차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작과 아르곤 아크 플라스마의 발생에 따른 회로 분석 및 전기 광학적 특성 연구

이수범 ,  문민욱 ,  오필용 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .07

차세대 리소그래피 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속장치의 아르곤 아크 플라스마의 방출 스펙트럼 진단

홍영준 ,  문민욱 ,  이수범 외 7명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .11

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Ar/C_xF_2xO(X=3,6) 혼합가스를 이용한 친환경 SiO₂ 식각 연구

성익찬 ,  탁현우 ,  성다인 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Etching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy

Haegyu Jang ,  Sanghyuk Choi ,  Heeyeop Chae

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Wire - Cylinder형 반응로에서의 코로나 방전 플라스마의 특성 연구

박승자 ,  박인호 ,  고욱희

Applied Science and Convergence Technology

2004 .09

플라스마 공정 및 장비기술

손종원

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

CFD-Plasma & K-Plasma를 이용한 plasma simulation

유동훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

In-situ Endpoint Detection for Dielectric Films Plasma Etching Using Plasma Impedance Monitoring and Self-plasma Optical Emission Spectroscopy with Modified Principal Component Analysis

장해규 ,  채희엽

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Analysis of Single Crystal Silicon Solar Cell Doped by Using Atmospheric Pressure Plasma

I Hyun Cho ,  Myoung Soo Yun ,  Chan Hee Son 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Real-Time Small Exposed Area SiO₂ Films Thickness Monitoring in Plasma Etching Using Plasma Impedance Monitoring with Modified Principal Component Analysis

장해규 ,  남재욱 ,  채희엽

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

50 mm-wide atmospheric pressure plasma generated by two plasma jets

Jun-Goo SHIN ,  Hyun-Jin KIM ,  Heung-Sik TAE

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

디스플레이 공정용 유도 결합형 플라스마 시스템에서의 전자기적 특성 연구

오선근 ,  이영준 ,  김병준 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Applications of fluid based plasma simulation : dry etch

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Challenges and Solution on Large Scale of Atmospheric Pressure Plasma for Environmental Plasma Applications

Due Ba Nguyen ,  Nosi ,  Matyakubov 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

전극 구조에 따른 대기압 플라즈마 방전 특성 연구

E. S. Choe ,  D. J. Seong ,  J. H. Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08