CVD 공정의 전구체 잔존량 실시간 진단방법 연구

Q: 이 논문에서 정의한 수위 진단이란 무엇인가?

용기 내 액체의 높이를 측정하는 과정으로, 화학증착 공정에서 초음파 센서를 활용하여 전구체의 잔존량을 파악하는 것을 의미한다. 이는 비접촉 방식으로 작동하여 전구체의 부식 문제를 방지하고 실시간 모니터링을 가능하게 하는 핵심 진단 기술이다.

Q: 초음파 센서를 이용한 전구체 잔존량 진단 장치의 신뢰성과 효과는 무엇인가?

연구 결과, TEOS 전구체 내 초음파 속도를 1024 m/sec로 측정하여 실제 수위와 일치함을 확인하였다. 10일간의 테스트에서 오차 5% 이내의 높은 신뢰성을 보였으며, 전구체 고갈로 인한 불량 방지와 교체 시기 최적화를 통해 경제적 이점을 제공한다.

윤주영; 신용현; 정광화

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자료유형: 학술저널

저자정보: 윤주영 신용현 정광화

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제14권 제3호

발행연도: 2005.9

수록면: 110 - 114 (5page)

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본 연구는 화학증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 시스템에서 전구체 소모량을 모니터링 하기 위한 방법이다. 전구체는 가격이 매우 비싸기 때문에 이를 모니터링 하기 위한 효과적인 방법이 요구된다. 하나의 예로서 용기내 수위진단을 할 수 있는 초음파 센서를 들 수 있는데 이는 비접촉식이고 가격이 저렴한 유리한 점이 있다. 본 연구에서는, CVD 시스템에서의 전구체 소모량 모니터링을 위한 초음파 진단기술 개발에 관해 연구한다. 또한 반도체 생산라인에 적용이 가능한 실제 진단장치를 개발, 적용한다.

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