디지털 합금 AlGaAs층을 이용하여 제작된 GaAs/AlGaAs DBR의 균일도 향상

조남기; 송진동; 최원준; 이정일; 전헌수

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 조남기 송진동 최원준 이정일 전헌수

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제3호

발행연도: 2006.5

수록면: 280 - 286 (7page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

디지털 합금 AlGaAs층을 이용하여 제작된 GaAs/AlGaAs DBR의 균일도 향상

조남기 , 송진동 , 최원준 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2006.05 학술저널

디지털 합금 AlGaAs층을 이용한 GaAs/AlGaAs DBR 제작 및 기판 표면에서의 균일도 측정

조남기 , 송진동 , 이정일 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

디지털 합금 (digital alloy) 성장방법을 사용한 AlGaAs층을 이용하여 1.3㎛ vertical cavity surface emitting laser (VCSEL)에 사용될 수 있는 AlGaAs/GaAs distributed Bragg reflector (DBR)를 분자선 에피탁시 (molecular beam epitaxy) 방법을 통해 제작하였다. 3인치 1/4 크기의 기판에 디지털 합금 AlGaAs층을 사용한 DBR을 성장하고 기판 여러 부분에서의 반사율을 측정하여 각 부분 간의 반사율 편차가 0.35%이내임을 확인하였다. TEM 사진을 통한 계면분석을 통해 디지털 합금 AlGaAs층의 조성과 두께가 균일함을 확인하였는데, 이는 디지털 합금 AlGaAs층의 성장시 기판 표면의 온도가 불균일하더라도 크게 영향을 받지 않음을 보여준다. 이를 통해 DBR의 균일성에 따라 소자의 특성에 큰 영향을 받는 InAs 양자점을 활성층으로 사용하는 VCSEL의 수율을 향상시키는데 디지털 합금 AlGaAs층을 이용한 DBR이 응용될 수 있음을 보였다.

#디지털 합금 #DBR #균일도 #VCSEL #Digital alloy #Uniformity

참고문헌 (3)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - / / Physics of optoelectronic devices

[학술지(정기간행물)] - / / Diode lasers and photonic integrated circuits : 8793 ~

[학술지(정기간행물)] - / 1993 / Properties of AlGaAs

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

조남기

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 83

송진동

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 12 이용수 167

최원준

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 10 이용수 134

이정일

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 13 이용수 182

전헌수

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 2 이용수 8

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001269426

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (3)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)