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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제5호
발행연도
2006.9
수록면
458 - 464 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작과 에피성장된 ZnSe/GaAs(001)의 광학특성
김은도 ,  손영호 ,  엄기석 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2006.09 학술저널
초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작 및 성능 연구
김은도 ,  손영호 ,  엄기석 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.08 학술대회자료

2005

초고진공 분자선 에피성장(MBE) 시스템의 개발 및 특성
김은도 ,  정명효 ,  김창도 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2005.08 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 초고진공 (UHV; ultra high vacuum) 분자선 에피성장 (MBE; molecular beam epitaxy) 시스템의 제작과 성능연구가 성공적으로 이루어졌다. 초고진공 용 분자선 에피성장 시스템을 국산화개발 및 제작하여, 장비에 관한 성능 테스트를 하게 되었다. 본 장비의 진공도가 2X10?¹? Torr에 도달함을 확인하였고, 시편 가열모듈(substrate heating module)이 1,100 ℃까지 가열됨을 확인할 수 있었으며, ZnSe/GaAs(001)의 증착특성을 SEM (scanning electron microscope), AFM (atomic force microscope), XRD (x-ray diffraction), PL (photoluminescence) 등으로 조사하였다.
#초고진공 #분자선 에피성장 #분출 증발원(effusion cell) #플라즈마 셀(plasma cell) #셀렌화아연(ZnSe) #Ultra high vacuum(UHV) #Molecular beam epitaxy(MBE)

목차

한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 장치개요
Ⅲ. 실험장치의 특성 및 실험방법
Ⅳ. 결과 및 논의
Ⅴ. 결론
참고문헌
영어 초록

참고문헌 (1)

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