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학술저널
저자정보
홍승수 (한국표준과학연구원) 임종연 (한국표준과학연구원) 신용현 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제5호
발행연도
2011.9
수록면
313 - 321 (9page)

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한국표준과학연구원(Korea Research Institute of Standards and Science, KRISS)에는 초음파간섭 수은주압력계(ultrasonic interferometer manometer, UIM), 정적형표준기(static volume expansion system, SVES), 오리피스형 정압표준기 (orifice-type dynamic expansion system, ODES) 등 세 개의 주요한 국가 진공표준기가 있다. 이 장치들의 불확도 평가를 위해 각각 변수들의 측정 및 계산 모델을 개발하였다. 국제표준화기구(International Organization for Standardization, ISO) 지침에 따라 표준기들의 확장불확도(expanded uncertainty, U)를 계산하였다.
#진공측정표준 #초음파간섭 수은주압력계 #정적형표준기 #정압형표준기 #불확도 #Vacuum measurement standards #Ultrasonic interferometer manometer #Static volume expansion system #Dynamic expansion system #Uncertainty

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 초음파간섭 수은주압력계(UIM)
Ⅲ. 정적형표준기(SVES)
Ⅳ. 오리피스형(orifice type) 고진공 및 초고진공 표준기
Ⅴ. 불확도 요약
Ⅵ. 결론
참고문헌

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. S. Hong / 1996 / / J. Korean Vacuum Soc 5 : 181 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - P. L. M. Heydemann / 1977 / / J. Vac. Sci. Technol 14 : 587 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - C. R. Tilford / 1977 / / Applied Optics 16 : 1857 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - P. L. M. Heydemann / 1977 / / J. Vac. Sci. Technol 14 : 599 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S. S. Hong / 2001 / / J. Korean Vacuum Soc 10 : 173 ~ google schola

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