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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.9
- 수록면
- 327 - 332 (6page)
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ITO가 코팅된 유리 기판 위에 플라즈마 중합법으로 styrene 고분자 박막을 제작하고 상부 전극을 진공 열증착법으로 제작된 Au 박막으로 한 MIM (metal-insulator-metal) 소자를 제작하였다. 또한, 플라즈마 중합된 styrene 고분자 박막을 유기 절연박막으로 하고 진공열증착법으로 pentacene 유기반도체 박막을 제작하여 유기 MIS (metal-insulator-semiconductor) 소자를 제작하였다. 플라즈마 중합법으로 제작된 styrene (ppS; plasma polymerized styrene) 고분자 박막은 styrene 단량체 (모노머) 고유의 특성을 유지하면서 고분자 박막을 형성함을 확인하였으며, 통상적인 중합법으로 제작된 고분자 박막 대비 k=3.7의 높은 유전상수 값을 보였다. MIM 및 MIS 소자의 I-V 및 C-V 측정을 통하여 ppS 고분자 박막은 전계강도 1MVcm?¹에서 전류밀도 1×10?? Acm?² 수준의 낮은 누설전류를 보이고 히스테리시스가 거의 없는 우수한 절연체 박막임이 판명되었다. 결과적으로 유기박막 트랜지스터 및 유기 메모리 등 플렉서블 유기전자소자용 절연체 박막으로의 응용이 기대된다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (12)
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1. [단행본] - H. Klauk / 2006 / Organic Electronics: Materials, Manufacturing and Applications / WILEY- VCH GmbH
2. [학술지(정기간행물)] - Y. Y. Lin / 1997 / / IEEE Transactions on Electron Devices 44 : 1325 ~
3. [학술지(정기간행물)] - C. Zhang / 2004 / / Polymer 45 : 7665 ~
4. [학술지(정기간행물)] - Y. V. Pan / 1998 / / J. Polym. Sci. Part A: Polym. Chem 36 : 587 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. Morita / 1980 / / J. Appl. Phys 51 : 3938 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Y. Y. Lin / 1997 / / IEEE Transactions on Electron Devices 44 : 1325 ~
3. [학술지(정기간행물)] - C. Zhang / 2004 / / Polymer 45 : 7665 ~
4. [학술지(정기간행물)] - Y. V. Pan / 1998 / / J. Polym. Sci. Part A: Polym. Chem 36 : 587 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. Morita / 1980 / / J. Appl. Phys 51 : 3938 ~
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