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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
손영호 (유시스텍) 최승훈 (유시스텍) 박중진 (유시스텍) 정명효 (유시스텍) 허영준 (경운대학교) 김인수 (경운대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제22권 제3호
발행연도
2013.5
수록면
119 - 125 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2013

DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 대면적 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막제조 및 물리적 특성 연구
손영호 ,  최승훈 ,  박중진 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2013.05 학술저널
박막태양전지용 투명전도성 ZnO(Al), ZnO(AlGa) 박막제조 및 특성 연구
손영호 ,  박중진 ,  최승훈 외 10명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료

2012

박막태양전지용 투명전도성 ZnO(Al) 박막제조 및 특성 (Ⅱ)
손영호 ,  박중진 ,  최승훈 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

2011

박막태양전지용 투명전도성 ZnO(Al) 박막제조 및 특성
손영호 ,  정명효 ,  최승훈 외 8명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.02 학술대회자료

초록· 키워드

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In-line magnetron sputtering system을 사용하여 대면적(60×60 cm²) 소다라임 유리기판위에 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO (AlGa) 박막을 500 nm에서 1,450 nm까지 두께별로 증착하여 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. XRD를 통해 c-축 방향성(002)을 가지고 성장된 것을 확인 하였다. Hall 특성 분석을 통해 이동도 및 캐리어 농도의 특성을 확인 하였으며, 그에 따른 ZnO(AlGa)의 비저항이 9.03×10<SUP>-4</SUP> Ω·cm에서 7.83×10<SUP>-4</SUP> Ω·cm으로 ZnO(Al) 보다 높게 나타났으며, 가시광선 영역에서 투과율은 87.6%에서 84.3%으로 나타났다. 따라서 ZnO(AlGa)는 전기적 특성이 우수하고 높은 투과율로 대면적용 투명전도성 재료로의 활용에 적합한 특성을 지닌 것을 확인 할 수 있었다.
#ZnO(Al) #ZnO(AlGa) #투명전도성산화물 #스퍼터 #In-line magnetron sputtering system #TCO #Sputter

목차

I. 서론
II. 실험방법
III. 결과 및 고찰
IV. 결론
참고문헌

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - B. G. Lewis / 2000 / / MRS Bull 25 : 22 ~ google schola 2. [단행본] - H. L. Harngel / 1995 / Semiconducting Transparent Thin Films / Institute of Physics Publishing google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 정성진 / 2012 / RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 Ga-doped ZnO 박막의 공정압력에 따른 전기적, 광학적 특성 / 한국진공학회지 21 (1) : 17 ~ 21 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - J. S. Kim / 2010 / / J. KIEEME 23 : 9 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 2001 / / Thin Solid Films 53 : 398 ~ google schola

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박막제조 기술의 동향과 전망
정재인 ,  양지훈 한국자기학회지 2011 .10

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