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학술저널
저자정보
류대원 (영남대학교) 이재혁 (영남대학교) 박상신 (영남대학교) 김규하 (트리엔)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants Tribology and Lubricants 제36권 제2호
발행연도
2020.4
수록면
68 - 74 (7page)

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In this study, the effect of the shape error of a guideway on the movement of a stage that uses an air bearing is analyzed. The shape error of moving parts supported by the air bearing is known not to affect the vibrations of moving parts as much as the magnitude of the shape error. This is called the “averaging effect.” In this study, the effect of shape error on a guideway, as well as the averaging effect of an air-bearing system, is analyzed theoretically using a dynamic-analysis program. The dynamic-analysis program applies a commercially available code in COMSOL and solves the Reynolds equation between the stage and the guideway, along with the equation of motion of the stage. The stage is modeled as a two-degree-of-freedom system. The shape error is applied to the film thickness function in the form of a sine wave. The stage movement is analyzed using the fast Fourier transform process. The eccentricity and tilting are found to be proportional to the amplitude of the shape error of the guideway. Stage vibrations are less than 10% of the amplitude of the shape error on the guideway. This means that the averaging effect of the air bearing is verified quantitatively. Moreover, if the air supply position matches the shape error in the guideway, there is a notable change in eccentricity and tilting.
#air-bearing stage(공기베어링 스테이지) #shape error(형상 오차) #averaging effect(평균화 효과)

목차

Abstract
1. 서론
2. 공기 베어링 스테이지 윤활 및 틈새 함수
3. 수치해석
4. 해석 결과
5. 결론
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
Minseok Song / 2017 / Effect of shape errors on the stability of externally pressurized air journal bearings using semi-implicit scheme / Tribology International 115:580~590 Crossref 백홍 / 2019 / 자동차 헤드램프내 체결부품사이의 마찰계수 실험장치 개발 / 한국트라이볼로지학회지 35(1):59~64 dbpia Cai Tian / 2011 / Dynamic Modeling and Analysis of a 3-DOF Ultra-precision Positioning Stage with Air Bearinga / Procedia Engineering 16:264~270 Crossref Ro, S. K. / 2005 / Static and Dynamic Characteristics of Magnetically Preloaded Air Bearing Stage for a 3-Axis Micro-Machine Tool / Proc. Korean Society of Machine Tool Engineers Conference :468~472 google schola Fei Xue / 2012 / Research on error averaging effect of hydrostatic guideways / Precision Engineering 36(1):84~90 Crossref

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