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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.11
- 수록면
- 1,182 - 1,185 (4page)
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It is important to present a quantitative analysis methodology for multifunctional polymers because the functionality expressed at the atomic level of the material directly affects the mechanical properties and macroscopic behavior of the system. In order to comprehend these characteristics of the polymer materials and their nanocomposites, therefore, we adopt a molecular dynamics simulation and successfully derived the eigenstrain variation of the microstructure with respect to temperature, photochemical reaction ratio, and the nanoscale inhomogeneity. Also, the suggested computational molecular design methodology was applied to an extreme-UV lithography process of photoresist, the most promising application in semiconductor and flat panel display industry.
목차
Abstract
1. 서론
2. 광반응 액정 고분자 및 광반응 고분자 나노복합재 계면특성 도출
3. 다기능성 고분자 전산해석법의 초정밀 공정 응용
4. 결론
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