반도체 후공정중 고출력 펄스 레이저를 이용한 몰딩 잔여물 제거

조주희; 이충신; 한유희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조주희 (이오테크닉스) 이충신 (이오테크닉스) 한유희 (이오테크닉스)

저널정보: 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2002년도 추계학술발표대회 논문개요집

발행연도: 2002.1

수록면: 65 - 67 (3page)

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