Hot-Wire CVD 방법을 이용한 저온 에피택셜 실리콘 박막의 표면 텍스처 형성

이승렬 ,  안경민 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

실리콘 원료계통의 개요

한국전자산업진흥회

전자진흥

1983 .01

다결정 실리콘 / 다결정 실리콘 열산화막의 계면 거칠기를 개선하기 위한 새로운 산화 방법

전명철 ,  김진원 ,  김기범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

다결정 실리콘 태양전지 제조를 위한 비정질 알루미늄 유도 결정 입자 특성

정혜정 ,  김호성 ,  이호재 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .11

실리콘 문화 96

유영욱

CAD 및 VLSI 설계연구회지

1996 .01

Hot Wire CVD를 이용한 다결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성

백정호 ,  박준식 ,  이혜진 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

LPCVD 다결정 실리콘 박막의 성장 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 응용

하승호 ,  이진민 ,  박승희 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

태양전지 응용을 위한 E-beam 조사법에 의한 비정질 실리콘 결정화 특성연구

정채환 ,  류상 ,  김창헌 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

실리콘 에칭 모델링

구민

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

스퍼터링된 비정질 실리콘의 전자빔 조사를 통한 태양전지용 흡수층 제조공정 연구

정채환 ,  나현식 ,  남대천 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2010 .06

폐실리콘 슬러지로부터 실리콘 분말의 분리 회수

장희동 ,  장한권 ,  서용재 외 3명

한국자원리싸이클링학회 학술발표대회

2005 .01

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

한길진 ,  김영철 ,  장영철 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

CW CO₂ Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 Off 전류 저감

배병성 ,  박용해 ,  마석범 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘 박막 제작

이중휘 ,  최병정 ,  주병윤 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .11

이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막

김천홍 ,  박철민 ,  전재홍 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

SiH4 를 사용한 광화학기상증착법에 의한 에피 실리콘 저온 성장

신성원 ,  이종욱 ,  조우영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01