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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
손성완 (알엠에스테크놀로지주식회사) 이홍기 (알엠에스테크놀로지주식회사) 백재호 (알엠에스테크놀로지주식회사)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
40 - 46 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

반도체 초정밀장비의 진동허용규제치를 고려한 지지구조의 동특성 개선에 관한 연구
손성완 ,  이홍기 ,  백재호 한국반도체장비학회지 2003.01 학술저널
반도체 초정밀장비의 진동허용규제치를 고려한 지지구조의 동특성 개선에 관한 연구
손성완 ,  이홍기 ,  백재호 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

초록· 키워드

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진동에 민감한 각종 정밀장비를 갖추고 있는 공장구조물은 설립하는 설계 초기단계에서부터 정밀장비의 정상 운용을 위하여 장비 업체 제시한 진동허용규제치 및 동특성허용규제치를 만족할 수 있도록 공장구조물 설계시 진동 측면에 대하여 동적(動的) 특성을 검토해야만 한다. 이러한 설계조건을 만족시켜주기 위한 방안으로 외부에서 정밀장비로 유입되는 진동에 대찬 진동절연을 위하여 진동전달률 이론을 적용하여 방진효율 산출하는 방법과 정밀장비에서 발생하는 동하중을 고려하여 공장구조물에 대한 동적설계를 수행하는 것으로, 구조물 동특Jt!을 요구되는 만큼 구조물의 동특성 변경하는 SDM(Structural Dynamic Modifacation)방법이 주로 활용된다 이에 본 연구에서는 앞서 언급한 구조물의 동적설계시 후자조건인 구조물의 동특성을 변경하고자 하는 경우에 실구조물에 하중을 정량적으로 조절하며 가할 수 있는 VSD 시스템을 이용하여 구조물의 동특성을 변화시키는 것을 동적해석으로 예측하였고, 현장에서 실제 동적실험으로 구한 결과를 동적설계목표치와 비교하여 유용성에 대하여 확인하였다.

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