Dependence of Nanotopography Impact on Fumed Silica and Ceria Slurry Added with Surfactant for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Cho ,  Kyu-Chul ,  Jeon 외 4명

한국재료학회지

2006 .01

Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

이명윤 ,  강현구 ,  박형순 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

Polishing Pad의 분자구조와 Ceria CMP의 상관관계 연구

서장원 ,  김승근 ,  추정선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

Effect of pH, Molecular Weight, and Concentration of Surfactant in Nano-Ceria Slurry on STI-CMP

Lee ,  Jae-Seong ,  Chun 외 6명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

Sphere-shaped Ceria Particles for Reducing the Defects in STI CMP Process

김나연 ,  남재도 ,  선한나

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

CMP (Chemical Mechanical Planarization) 공정 중 Ceria Particle의 특성에 관한 연구

홍의관 ,  박진구

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향

이다솔 ,  이현섭 ,  정경우 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

계면활성제의 농도와 연마제의 크기가 STI 화학적 기계적 연마에 대한 나노 세리아 슬러리의 선택비에 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  박재근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Effects of Non-Prestonian Behavior of Ceria Slurry with Anionic Surfactant on Abrasive Concentration and Size in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Choi ,  Hyuk-Yul ,  Kang 외 8명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

STI CMP용 가공종점 검출기술에서 나노 세리아 슬러리 특성이 미치는 영향

김성준 ,  강현구 ,  김민석 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Effect of Organic Additives in Ceria Slurry on Enhanced Oxide-to-Nitride Removal Selectivity in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Lee ,  Byeong-Seog ,  Kang 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

희석된 혼합연마 슬러리의 연마특성에 관한 연구

이영균 ,  박영봉 ,  왕함 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

Graphene-matrix nanotopography as a biomimetic scaffold for engineering structure and function of stem cells

박선호 ,  김장호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Reduction of Large Particles and Light Point Defects (LPD) by Aging and Selective Sedimentation Process in Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

Lee ,  Byong-Seog ,  Kang 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

세리아 슬러리를 사용한 화학적 기계적 연마에서 연마재의 형태와 계면활성제의 농도가 미치는 영향

강현구 ,  백운규 ,  박재근

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Ceria 안정화 Zirconia 코팅에서의 상변태

이의열

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

Improved electrospraying process to fabricate micropatterned nanotopography on an insulator

이성진 ,  박상민 ,  한선진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light Point Defects (LPDs)에 미치는 영향

이명윤 ,  강현구 ,  박진형 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Ceria가 LNT 촉매의 배기가스 저감성능에 미치는 영향

백승진 ,  남충우 ,  한만배

한국자동차공학회 지회 학술대회 논문집

2015 .10

SiO₂/CeO₂ 혼합 연마 슬러리가 CMP 연마 특성에 미치는 영향

이영균 ,  박은정 ,  이다솔 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05