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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
- 발행연도
- 2002.1
- 수록면
- 666 - 669 (4page)
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Vertically aligned carbon nanotubes (CNTs) have been produced using various type of plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Catalysts such as Ni, Co, and Fe are used for growth of CNTs. To explain the effect of catalysts on the growth characteristics of CNTs, carbon species of $C_2H_2$ was observed in different catalysts using optical emission spectroscopy (OES) with theoretical calculation on the surface reaction in different catalysts.
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