Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering

Koo ,  Hong-Mo ,  Bang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 AZO 박막의 특성

박이섭 ,  이승호 ,  송풍근

한국표면공학회지

2007 .06

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )

김춘곤 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )

정귀상 ,  노상수

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성

박지봉 ,  박세훈 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구

李鍾德 ,  高相春 ,  宋埈泰

전기학회논문지

1996 .06

The low temperature synthesis of Al doped ZnO films on glass & polymer using magnetron co-sputtering : working pressure and oxygen content effect

문창성 ,  정윤모 ,  정우성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성

마대영 ,  박기철

전기전자학회논문지

2020 .06

ZnO 투명 전도막의 전기적 특성에 미치는 AlO 의 도핑 농도 및 방전전력의 효과

박민우 ,  박강일 ,  김병섭 외 2명

한국재료학회지

2004 .01

대향타겟스퍼터법으로 증착된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성

양진석 ,  성하윤 ,  금민종 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

High performance thin film transistor with ZnO channel layer deposited by DC magnetron sputtering

Moon ,  Yeon-Keon ,  Moon 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성

양지훈 ,  정재훈 ,  송민아 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Implementation of High Carrier Mobility in Al-N Codoped p-Type ZnO Thin Films Fabricated by Direct Current Magnetron Sputtering with ZnO:Al_2O_3 Ceramic Target

Hujie Jin ,  Bing Xu ,  박춘배

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2011 .01

인라인 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 박막 증착 및 습식 식각에 따른 표면 형상 제어

김영진 ,  조준식 ,  박상현 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

증착 압력에 따른 ZnO:Al 박막의 특성

김성연 ,  신범기 ,  김두수 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

연성 기판상에 증착한 Al 도핑된 Zno 박막의 특성

조범진 ,  금민종 ,  김경환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성

김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명

한국재료학회지

1995 .01