Analysis of seed layer profiles inside the vias

김창규; 이원종

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김창규 (KAIST 신소재공학과) 이원종 (KAIST 신소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2008년도 추계학술발표대회 및 제15회 신소재 심포지엄

발행연도: 2008.1

수록면: 282 - 282 (1page)

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김창규

소속기관 [주]창성 기초연구소 신공정개발팀

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 10 이용수 11

이원종

소속기관 한국과학기술원 신소재공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 자연과학 > 지구과학 > 지질학

논문수 59 이용수 69

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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