콜로이달 실리카 입자 형상에 따른 CMP 특성에 관한 연구

김문성 ,  정해도

대한기계학회 논문집 A권

2014 .09

콜로이달 실리카를 사용한 콘크리트의 굳기 전 및 초기강도 특성

한승연 ,  윤경구 ,  박경태 외 1명

대한토목학회 학술대회

2017 .10

사파이어 웨이퍼 CMP 공정 신뢰성 향상을 위한 혼합 나노실리카 콜로이달 슬러리

정찬홍

신뢰성응용연구

2014 .03

CMP슬러리 산업동향

한국전자산업진흥회

전자진흥

2004 .01

콜로이달 실리카의 고형분량에 따른 콘크리트 초기 강도특성

한승연 ,  윤경구 ,  박경태 외 1명

한국콘크리트학회 학술대회 논문집

2017 .11

알루미나 고정입자패드를 이용한 텅스텐 CMP 특성 평가

박범영 ,  김호윤 ,  김형재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .10

황산구리 전해욕의 전착피막에 미치는 콜로이달실리카의 영향

이상백 ,  김병일 ,  윤정모 외 1명

한국재료학회지

2001 .01

콜로이달 실리카의 고형분량이 콘크리트의 마모저항성에 미치는 영향

한승연 ,  윤경구 ,  박경태 외 1명

한국콘크리트학회 학술대회 논문집

2017 .11

ZrO2 연마 입자를 사용한 텅스텐 CMP 용 슬러리에서 폴리비닐피로리돈의 효과

김윤기 ,  김수범 ,  서은빈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2017 .06

의료 방사선사용에 따른 납과 텅스텐의 차폐효과 분석

장동근 ,  김규형 ,  박철우

한국방사선학회 논문지

2018 .01

용융아연 도금층의 응고에 미치는 콜로이달 실리카의 영향

김상헌 ,  정원섭 ,  김형인

한국표면공학회지

2000 .10

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

Highly Stable Colliodal Quantum Dots by Polymeric Brush Encapsulation

고재완 ,  방준하

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

CMP 슬러리의 분산성 향상에 관한 연구 ( A Study on the Improvement of the Slurry Dispersibility in CMP )

조성환 ,  김형재 ,  김호윤 외 3명

대한기계학회 논문집 A권

2001 .10

콜로이달 실리카로 결합된 알루미나 세라믹 쉘 몰드의 강도에 미치는 요인

강종봉 ,  문종수 ,  조범래 외 2명

한국재료학회지

1996 .01

고정입자 패드를 이용한 텅스텐 CMP에 관한 연구

박재홍 ,  김호윤 ,  정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2001 .12

CMP 슬러리의 희석과 화학적 최적화 ( Dilution and Chemical Optimization of CMP Slurry )

김경준 ,  정해도

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

CMP 공정에서 슬러리 유량의 변화가 연마율에 미치는 영향

정영석 ,  김형재 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10