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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
류제담 (한국표준과학연구원 음향진동그룹) 정완섭 (한국표준과학연구원 음향진동그룹) 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) 홍동표 (전북대학교)
저널정보
한국음향학회 한국음향학회 학술발표대회 한국음향학회 2004년도 추계학술발표대회논문집 제23권 2호
발행연도
2004.1
수록면
313 - 316 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

진공펌프의 소음 진동 측정을 위한 종합 성능 평가 장치 개발
류제담 ,  정완섭 ,  임종연 외 1명 한국음향학회 학술발표대회 2004.01 학술대회자료
임의의 공정 변화에 따른 진공펌프의 소음${\cdot}$진동 평가를 위한 MFC 컨트롤 시스템 개발
류제담 ,  정완섭 ,  임종연 외 1명 한국음향학회 학술발표대회 2004.01 학술대회자료

초록· 키워드

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진공펌프의 상태를 미리 알고 대처하는 것은 수많은 진공펌프를 사용하는 반도체 회사에게는 경제적인 이익을 준다. 진공펌프의 상태를 파악하기 위해서는 실제 공정에서 많은 실험을 해야만 한다. 하지만 실제 공정에서 실험을 하기에는 많은 제약과 문제점들이 따른다. 이를 해결하기 위해 본 연구는 MFC(Mass Flow Controller)를 이용하여 실제 공정과 유사한 압력조건을 생성할 수 있는 시뮬레이션 시스템을 구축하였다.

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