A Compacted In-line Wet Etch/Cleaning System With a Reverse Moving Control System

Im, Seung-Hyeok; Cho, Eou-Sik; Kwon, Sang-Jik

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Im, Seung-Hyeok (Display, Department of Electronics Engineering, Kyungwon University) Cho, Eou-Sik (Display, Department of Electronics Engineering, Kyungwon University) Kwon, Sang-Jik (Display, Department of Electronics Engineering, Kyungwon University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display

발행연도: 2008.1

수록면: 863 - 866 (4page)

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For the cost reduction in the fabrication of display panels, a reverse moving system was equipped to a compacted in-line wet etch/cleaning system. For the effect of the alternating movement of substrate on the wet etch process, ITO layers were etched in various moving modes of substrates and the results were compared and analyzed.

#Inline wet etching/cleaning system #reverse moving system #alternating motion #ITO pattern #CD skew

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Im, Seung-Hyeok

소속기관 Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 1

Cho, Eou-Sik

소속기관 Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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Kwon, Sang-Jik

소속기관 Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 26 이용수 6

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